西安氢氟酸腐蚀硅芯的原理

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由于西安氢氟酸能将硅芯及横梁表面的二氧化硅和硅溶解生成氯化硅，但单纯的西安氢氟酸对硅棒的腐蚀作用极慢，又由于浓硝酸能将硅氧化膜（sio2），但氧化膜是难溶物质，既不溶于水，也不溶于硝酸，因此单纯的硝酸也不能得到对硅芯及横梁表面进行腐蚀清洗的目的。

然而，在氢氟酸和浓硝酸的混合腐蚀液中，首先氢氟酸将硅芯及横梁表面的二氧化硅溶解，然后硝酸使硅芯及横梁表面单质硅氧化为二氧化硅，之后氢氟酸又将硝酸氧化产生的这层氧化膜溶解掉，两种酸如此交替作用从而使硅芯及横梁表面剥落掉一层，即可实现清洁硅芯及横梁的目的，通常我们是将硅芯及横梁在硝酸和氢氟酸的体积比为5：1的浓硝酸和氢氟酸混合液中进行腐蚀清洗。其化学反应式如下：Si+6HF（浓）+4HNO3（浓）=H2SiF6+4NO2+4H2O+热量

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